Про концентрацию плазмы на мишени-катоде.

  Речь пойдет про плазму (при магнетронном распылении) при получения тонких пленок . Для получения плазмы используется газ аргон . Газ аргон (Ar) — это атомарный газ (как все инертные газы) , на вакуумных производствах храниться в серых баллонах с зеленой полосой. Внешний энергетический уровень атома аргона имеет 8 электронов. Читать полный текст