Распыление в вакууме.

                   Все ,ранее написанные статьи, касающиеся получения тонких пленок, относятся к технологии ионного напыления в тлеющем разряде с применением магнетронных распылительных систем , за счет скрещивания электрического и магнитного полей. Эта технология привела к эффективному распылению ( значительному росту плотности плазмы). То Читать полный текст