Про концентрацию плазмы на мишени-катоде.

  Речь пойдет про плазму (при магнетронном распылении) при получения тонких пленок . Для получения плазмы используется газ аргон . Газ аргон (Ar) — это атомарный газ (как все инертные газы) , на вакуумных производствах храниться в серых баллонах с зеленой полосой. Внешний энергетический уровень атома аргона имеет 8 электронов. Читать полный текст

Один из способов предварительной очистки изделия ( перед ионной очисткой).

  В вакуумных производствах , часто используют энергию ультразвуковых волн, для очистки от загрязнений сложных по форме изделий. Для этого производится преобразование энергии ультразвуковых волн в энергию механических колебаний. Тип волны может быть : продольным, поперечным , крутильным. Все зависит от направления вектора Умова и направления колебаний частиц вещества. Продольный Читать полный текст

Из практики вакуумного производства.

  Для достижения предварительного вакуума используются следующие конструкции насосов: пластинчато-статорные, пластинчато-роторные, золотниковые. Во всех конструкциях рабочие камеры насосов вместе с выхлопными клапанами находятся ниже уровня масла . К примеру , на рисунке, показано как устроен пластинчато-роторный насос: А— полость всасывания, В — полость сжатия , цилиндрический корпус- 3, эксцентрично установленный Читать полный текст

Датчики вакуума TPR 281 и IKR 251.

  Измеренный сигнал в большинстве случаев непригоден для выполнения измерений. Причин множество: 1) Сигнал не согласован с устройством по уровню , мощности. 2) На слабый измерительный сигнал накладываться шумы и наводки, поэтому возникают искажения результатов измерений. Понятно , что измеренный аналоговый сигнал (минимальное и максимальное значения ) должны быть преобразованы аналого- Читать полный текст

Источники питания магнетронов вакуумных установок .

  Источники питания магнетронов вакуумных установок проектируют так , чтобы источник питания был способен гасить внезапно возникающий дуговой разряд (резкие скачки увеличения тока). Силовая часть источников питания строится на мощных тиристорах , или IGBT транзисторах ( токи в отдельных вакуумных установках достигают величин до 100 А ) . Правда, устойчивое Читать полный текст