Магнетронные распылительные системы — лидирующие технологии не только в микроэлектронике.

      Во всем перечне моих публикаций ( ссылка: https://vsor.by/category/tex/vak/) затрагивающих низкий вакуум – (10000-100 Па). средний вакуум– (100-0,1 Па), высокий вакуум – (0,1-0,00001Па) шла речь про вакуумное и электронное оборудование. Без такого оборудования получить толщины покрытий от нанометров до десятков микрометров невозможно.   Практика показала, что большей энергией Читать полный текст

Управление отсечным клапаном (КВМ) в вакуумной магистрали.

                        Чтобы не получить ( «реактивный двигатель» , плевок из диффузионного насоса в форвакуумный и другие неприятности приводящие к поломке оборудования ) масштабного брака , при вакуумном напылении , между диффузионным и форвакуумным насосам обязательно ставится отсечной клапан КВМ Читать полный текст

Поиск течей.

                              Существуют рекомендации о порядке проведения контроля течеисканием технических устройств . В этих рекомендациях излагается организация и технологический контроль конструкций и деталей при  поиске течей. Контроль течеисканием конструкций и деталей проводится в целях выявления течей и Читать полный текст

Распыление в вакууме.

                   Все ,ранее написанные статьи, касающиеся получения тонких пленок, относятся к технологии ионного напыления в тлеющем разряде с применением магнетронных распылительных систем , за счет скрещивания электрического и магнитного полей. Эта технология привела к эффективному распылению ( значительному росту плотности плазмы). То Читать полный текст

Про концентрацию плазмы на мишени-катоде.

  Речь пойдет про плазму (при магнетронном распылении) при получения тонких пленок . Для получения плазмы используется газ аргон . Газ аргон (Ar) — это атомарный газ (как все инертные газы) , на вакуумных производствах храниться в серых баллонах с зеленой полосой. Внешний энергетический уровень атома аргона имеет 8 электронов. Читать полный текст

Предварительная очистка изделия ( перед ионной очисткой).

  В вакуумных производствах , часто используют энергию ультразвуковых волн, для очистки от загрязнений сложных по форме изделий. Для этого производится преобразование энергии ультразвуковых волн в энергию механических колебаний. Тип волны может быть : продольным, поперечным , крутильным. Все зависит от направления вектора Умова и направления колебаний частиц вещества. Продольный Читать полный текст

Из практики вакуумного производства.

  Для достижения предварительного вакуума используются следующие конструкции насосов: пластинчато-статорные, пластинчато-роторные, золотниковые. Во всех конструкциях рабочие камеры насосов вместе с выхлопными клапанами находятся ниже уровня масла . К примеру , на рисунке, показано как устроен пластинчато-роторный насос: А— полость всасывания, В — полость сжатия , цилиндрический корпус- 3, эксцентрично установленный Читать полный текст