Принято измерять вакуум в Паскалях. Вакуум делится на диапазоны(в Паскалях) : 1) 1,013×10+5 – атмосферное .давление. 2) 1×10+5 до 1×10+1—низкий вакуум . Диапазон от (100 -1 Па) — называют еще форвакуумом. 3) 1×10+1 до 1×10−3 – средний вакуум. 4) от 1×10−3 до 1×10−6 – высокий. 5) 1×10−6 до 1×10−10 –сверхвысокий. Как быстро насосами производят откачку до высокого вакуума ? Значение вакуума в 0,001 Па (высокий) производится схемой из каскадов насосов . Нарисуем схему :
От атмосферного давления до примерно значения 100 Па работает насос поз.2 (обычно 2-роторный насос). Благодаря насосу (поз. 2) достигается вакуум около 20-50 Па в вакуумной камере (поз 7). Затем автоматически включается насос Рутца (поз.3 ) и откачивает камеру до 1 Па. После этого камеру начинает откачивать диффузионный насос (поз.6). Наглядно выше приведенная схема (с реальными насосами, датчики , клапанами) будет выглядеть так :
Поз. 1 — это каскад из 2-насосов : 2НВР-250 и НВД-600. Состоит из последовательно соединенных двухроторного насоса НВД-600(РУТЦА) и пластинчато-роторного насоса 2НВР-250Д. Быстрота действия при рабочем давлении 26,6 Па = 155. (л/с). Рабочее масло (ВМ-1С ).
Поз 3.- датчик . Разновидностей датчиков очень много . Приведу один из самых встречаемых датчиков вакуума — ПМТ2.
Величину вакуума измеряет косвенно . Внутри стоит термопара и нагревательная спираль. Измеряется э.д.с. термопары. Чем выше вакуум, тем меньше теплопроводность и тем больше э.д.с. Упрощенная конструкция датчика следующая :
Поз. 4 (на наглядной схеме с датчиками и насосами) — вакуумметр. Разновидностей огромное количество . Одни из самых первых отечественных вакуумметров : ВИТ-3.