Управление отсечным клапаном (КВМ) в вакуумной магистрали.

 

                      Чтобы не получить ( «реактивный двигатель» , плевок из диффузионного насоса в форвакуумный и другие неприятности приводящие к поломке оборудования ) масштабного брака , при вакуумном напылении , между диффузионным и форвакуумным насосам обязательно ставится отсечной клапан КВМ (клапан вакуумный электромагнитный).

Рис1

                           Задача клапана — мгновенно перекрыть вакуумную магистраль между форвакуумным и диффузионным насосами при отключении электроэнергии или других аварийных ситуациях :

рис2

            Клапан КВМ во время нормальной работы постоянно открыт ( к катушке клапана постоянно приложено напряжение),поэтому стоит задача до минимума уменьшить потребляемую мощность катушки клапана. Эта задача успешно решается, если применить регулятор мощности.  Построен регулятор мощности по следующей схеме :

рис3

        Открытие клапана ( согласно параметрам схемы) происходит под действием электромагнита (КВМ) за 0,1 сек . Питается схема от сети напряжением 220 В , частотой 50 Гц. Положительная полуволна поступает через диод Д226Б на стабилизатор напряжения (два стабилитрона Д814Г) . К1 и К2 микропереключатели расположены на самом клапане (наглядно показаны на  рис. 1).       Приведенная схема (рис3) работает следующим образом :

          Тиристор Т112-10 управляется генератором импульсов на однопереходном транзисторе КТ117Б. Постоянным напряжением Uст через резистор в 12к , микропереключатель К2 , переменный резистор 10к заряжается конденсатор в 1мкф. Напряжение на конденсаторе растет по экспоненте и подается на эмиттер однопереходного (КТ117Б) транзистора. В момент, когда напряжение достигло порога отпирания , однопереходный транзистор переключиться в открытое состояние и конденсатор 1мкф разрядится по цепи: часть переменного резистора 10к, эмиттер КТ117Б, база Б1, резистор 220 Ом. Напряжение на эмиттере будет иметь форму пилы, а напряжение на резисторе в 200 Ом будет иметь форму импульсов положительной полярности, которые и управляют тиристором Т112-10.

рис4

                   С помощью переменного резистора 10к регулируется задержка импульса относительно момента перехода сетевого напряжения через ноль, чем изменяется угол включения тиристора (Т112-10) и отдаваемая мощность в катушке клапана (КВМ). При замкнутом микропереключателе К2 выделяемая мощность на катушке клапана (КВМ) будет большая, чем при разомкнутом микропереключателе К2. При разомкнутом микропереключателе К2 выделяемая мощность на катушке клапана(КВМ) уменьшится (угол открытия тиристора начнется позже). Однако этой мощности хватит (настраивается переменным резистором 10к) для удержания клапана в открытом состоянии.

рис5

Для КТ117Б :
Максимальный ток эмиттера — 30мА. Напряжение между базами — 30в. Максимальная рассеиваемая мощность — 300мВ.

 

Добавить комментарий

Ваш e-mail не будет опубликован. Обязательные поля помечены *

*

code