
Чтобы не получить ( «реактивный двигатель» , плевок из диффузионного насоса в форвакуумный и другие неприятности приводящие к поломке оборудования ) масштабного брака , при вакуумном напылении , между диффузионным и форвакуумным насосам обязательно ставится отсечной клапан КВМ Читать полный текст